臺式掃描電鏡(Scanning Electron Microscopy，SEM)是一種利用電子束掃描樣品表面并收集二次電子信號來生成高分辨率圖像的顯微鏡，主要由電子槍、電磁透鏡系統(tǒng)、樣品室、真空系統(tǒng)和探測器等部分組成。工作時，電子槍產(chǎn)生一束極細(xì)的高能電子束，經(jīng)過電磁透鏡聚焦后，掃描樣品表面。當(dāng)電子束撞擊樣品時，會激發(fā)樣品表面產(chǎn)生二次電子、背散射電子等信號，這些信號被探測器接收并轉(zhuǎn)換為電信號，再通過顯示器呈現(xiàn)出樣品表面的形貌圖像。
臺式掃描電鏡的特點：
1.高分辨率：能夠提供比光學(xué)顯微鏡更高的分辨率，通常可達(dá)到納米級別，使得研究人員能夠更清晰地觀察樣品的微觀結(jié)構(gòu)。
2.三維立體感強(qiáng)：由于電子束是從不同角度照射到樣品表面，生成的圖像具有強(qiáng)烈的三維立體感，有助于更直觀地理解樣品的形態(tài)和結(jié)構(gòu)。
3.應(yīng)用廣泛：適用于各種樣品的觀察，包括金屬、陶瓷、聚合物、生物組織等，因此在多個領(lǐng)域都有廣泛的應(yīng)用。
4.操作簡便：相較于大型掃描電鏡，通常體積更小、價格更低，且操作更為簡便，適合在實驗室和教學(xué)環(huán)境中使用。
臺式掃描電鏡的應(yīng)用：
1.可用于觀察材料的微觀結(jié)構(gòu)、晶體形態(tài)、缺陷分布等，為材料的研發(fā)和性能優(yōu)化提供有力支持。
2.在生物學(xué)領(lǐng)域，可用于觀察細(xì)胞、組織、器官等生物樣本的表面形貌和內(nèi)部結(jié)構(gòu)，有助于深入了解生命過程和疾病機(jī)制。
3.在醫(yī)學(xué)領(lǐng)域的應(yīng)用日益廣泛，如病理診斷、藥物研發(fā)、醫(yī)療器械檢測等，為提高醫(yī)療水平和保障患者健康發(fā)揮了重要作用。
4.在半導(dǎo)體制造過程中，可用于檢測芯片表面的缺陷、測量線寬等關(guān)鍵參數(shù)，確保半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量和性能。
