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SEMICON China 是中國的半導(dǎo)體旗艦展覽，每年吸引高數(shù)量和高質(zhì)量的觀眾到場參觀，為大家提供了解產(chǎn)品、技術(shù)和解決方案的專業(yè)平臺。

2019 年，飛納電鏡將攜臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX，在 SEMICON China 2019 為大家?guī)頀呙桦婄R在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用。

時(shí)間：2019 年 3 月 20 日 - 22 日
地點(diǎn)：上海新博覽中心
飛納電鏡展位號：N5 館 5619

飛納臺式掃描電鏡在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

光鏡 + 電鏡導(dǎo)航界面 —— 快速尋找 Bonding 位置

飛納電鏡彩色光學(xué)導(dǎo)航窗口 + 低倍 SEM 導(dǎo)航窗口 + 自動(dòng)馬達(dá)臺，幫助用戶一鍵找到感興趣位置，丟失視野。

優(yōu)中心樣品杯 —— 多角度檢測 Bonding 質(zhì)量

飛納電鏡優(yōu)中心 (Eucentric) 樣品杯

飛納臺式掃描電鏡大樣品室版 Phenom XL 的優(yōu)中心樣品杯可以通過傾斜、旋轉(zhuǎn)樣品，使用戶得到更豐富的形貌特征，輕松、安全地從各個(gè)角度觀察樣品：

· 自動(dòng)保護(hù)系統(tǒng)，用戶無需擔(dān)憂碰撞探頭
· 腔室 3D 動(dòng)態(tài)顯示，實(shí)時(shí)模擬顯示樣品與探頭的位置關(guān)系
· 優(yōu)中心樣品轉(zhuǎn)動(dòng)，丟失視野

飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX

在半導(dǎo)體領(lǐng)域中，掃描電鏡可以用來分析材料成型機(jī)理，器件失效分析，工業(yè)工藝控制等問題，對研究和生產(chǎn)有著至關(guān)重要的作用。

飛納電鏡的高性能、高穩(wěn)定性、操作簡單等特性，在半導(dǎo)體領(lǐng)域得到了廣泛的應(yīng)用。

第五代飛納臺式掃描電鏡能譜一體機(jī) Phenom ProX 是集成化成像分析系統(tǒng)，分辨率提升 20%，進(jìn)一步增加應(yīng)用范圍，更加適用于對電子束敏感的樣品。